Individuell angepasste DUV-Objektivlinse für Halbleiterinspektion

Halbleiterausrustung

Excelitas verfügt über mehr als 40 Jahre Erfahrung in der Entwicklung, Konstruktion and production von Lasern, Lichtquellen, optischen Geräten und komplexen optomechanischen Baugruppen, die bei der Herstellung von Halbleitern verwendet und in Halbleitergeräte integriert werden。Wir liefern die hohe Stabilität, Auflösung im submikmeter - bereich und zuverlässige optomechanische Präzision, die für die Weiterentwicklung der Halbleitertechnologie entscheidend sind。

复杂,个人angepasste optomechanische Baugruppe zur集成在ein Halbleitergerätesystem

个体天使光子Lösungen

Vom设计和原型anspruchsvoller optischer Lösungen bis hin zur serienproduction - die optische专长和创新von Excelitas sorgt für eine Neudefinition des Photonik-Leistungsumfangs für lithografische Ausrichtung, Waferinspektion, Messtechnik, Chip-Verarbeitung, Verklebung和Verpackung。不完整的光学Lösungen德国的杜夫比祖红外和unterstützen die stets geringer werdenden Funktionsgrößen, die für die missionskritischen Prozesse bei Herstellung积分的Schaltkreise erforderlich信德。

Inspektionsobjektive - von Mikro bis Makro

Excelitas bietet hochwertige optische Komponenten, Baugruppen and Subsysteme für die chipverbeitung and waferinspection and。In Verbindung mit unseren umfangreichen Beleuchtungs- und Lasertechnologien ist Excelitas Ihr Partner für photonische End-to-End-Lösungen für Halbleiteranwendungen。

  • complex Flach-, Asphären-, Freiform-, Rautendreh und Metalloptik
  • Oberflächeninspektion mit hoher Auflösung
  • 同种Breit- und Schmalbandbeleuchtung
  • Fasergekoppelte Festkorperlaser
  • 个人,angepasste Strahlformungsoptik
  • Vakuum-kompatible Faseroptik
  • 参考für Waferausrichtung

Uneingeschrankte Zuverlassigkeit

[3]上海:深圳计算机技术研究所,深圳科技研究所,深圳科技研究所。Die Qualität wid mit modernen Messgeräten geprüft, darunter Shack-Hartmann-Sensorik, asphärische Phasenverschiebungsinterferometrie, UV-/IR-Interferometrie und MTF-Prüfungen, sowie breitband - spektrophotometry。不确定的问题Qualität不确定的问题,不确定的问题,不确定的问题,不确定的问题,不确定的问题,1000 ausgestattet sinind。Darüber日工模具ISO-Zertifizierungen 9001, 14001和13485严格的aufrechterhalten。

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